“반도체 미세공정 경쟁, 2~3 나노가 한계…이젠 3D 소자 연구”



실리콘 웨이퍼에 반도체 회로를 그려 내는 노광장비 등 고가의 첨단 반도체 장비 200여대와 전문인력을 보유한 국내 최대 규모의 관련 공공기관이다. 이제 세계는 반도체 소자를 작게 만드는 기술은 한계에 거의 도달했다고 본다. 공공기관 중에선 국내에서 유일하게 실리콘 기반 ‘첨단 반도체 장비’를 보유하고 있다는 – 삼성전자,반도체,나노,초미세공정,TSMC,인텔,KAIST,조병진 교수,나노종합기술원
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